色综合成人丁香-色综合999-色综合99-色综合97天天综合网-色综合91-色综合67194

       鎳基合金腔體是用鎳基合金材料制成的真空腔體，是為減少半導體應用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點有改善的機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。